275章 双工件台！(2/2)

“瑞哥，你可很少这么佩服别人的。”

“不佩服不行呀，这小子是真的天才。”秦瑞感慨地说道。

不一阵，杨杰赶到了梅溪湖的实验室，何玉光和一众技术人员都等在那里。

在这个上千平米的洁净厂房里面，一个大型的双工件平台样机摆放在那里，旁边摆放着三坐标仪和激光校准仪等一系列的高端精密设备。

杨杰跟来自清华大学的的朱轶教授握手道：“非常感谢朱教授的帮忙，帮我们公司实现了重大的技术突破。”

“惭愧呀！”这位已经六十来岁的精密仪器系的专家感慨地说道：“我们清华大学七十年代末期的时候当时在光刻机工件台上就有了很大的突破，可是这些年国家对此支持力度非常小，这上面却是被国外的这些公司远远地抛在了身后。”

朱轶感慨地说道：“再难的技术我们都可以把这些硬骨头给啃下来，可是没有产业的支撑，研发出来的只是些摆在实验室的漂亮展品，瑞星科技公司现在不一样，已经打通了产业链，这些技术产品马上就可以使用上了。”

“杨少，现在艾斯摩尔公司也是推出了双工作平台，不过外界对双工作平台都不是很看好，认为这个工作平台又大又笨重，复杂又昂贵，我们真的要推出这样的工作平台？”何玉光有些犹豫地说道。

“双工作平台至少能提高光刻机百分之三十的工作效率，这样的技术我们必须掌握。”杨杰一脸坚定地说道。

“对了，现在这个双工作平台的运动精度可以达到多少纳米？”

“我们刚刚测试过，工作平台的定位精度是十纳米，运动精度达到了五纳米。”何玉光高兴地说道。

“这个精度暂时只能满足一百纳米分辨率、套刻精度三十三纳米、线宽十纳米的光刻机，如果氟化氪准分子激光光源出来后，我们公司生产的光刻机暂时只能做到一百纳米的制程工艺……”杨杰沉吟道。58看书

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